用于离子束加工的OMF设备的技术特点

• 可实现λ/ 200或更好的表面质（根据测量系统）
• λ@633纳米的开始精度是符合标准的
• 每台机器都配置有一个六轴直接驱动系统，因此能够使离子源对工件表面始终处在正交位置
• 可被加工的工件外形有：扁平的、球型的、非球面的、自由曲面的、偏轴非球面、圆柱体、类棱镜形状或锥透镜，或可按需定制
• 所有加工所需要的动作（如：波形的，螺旋形的，自由形式的，等等）都可以在不更改机器配置的情况下进行
• 原则上可加工所有单晶，非晶和金属材料。例如：各种光学玻璃、石英玻璃、微晶玻璃、超低膨胀玻璃（ULE）、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅、锗等
• 绝对稳定的工程具有极端的可再现性
• 每台机器都拥有一个主室和一个负载锁定室，以减少工件更换用时间
• 针对不同离子束直径的自动原位换膜器，0.5到20毫米（可选）
• 全自动化加工流程，迭代作业流，无需在不同孔口直径的加工过程中测量工件，为实现几个不同工件的全自动加工，加工过程可通过机器人和储料分类系统进行扩展（可选）
• 实时测量系统可在几秒内确定离子束的蚀刻速率，而无需使用单独的工件样品（可选）
• 运行成本低，维护成本低

在这段视频里可以看到在一个模拟中，离子束源在一个自由形状样品上的运动

这里列举的是迄今为止制造的用于离子束加工的OMF设备的各种类型 （也包括离子束蚀刻或离子束抛光）。我们很乐意按照您的设想制造其他尺寸和规格的设备。您只需向我们描述您工艺技术上的打算。我们会将设备调整到适合您的生产流程的最佳状态。

2作为选装配置提供

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