光学低相干干涉测量 技术（OLCI，HP OLCI)

这类光学测量仪器被开发用于非接触式的厚度和轮廓测量。该测量方法使用光学相干层析技术（OCT）的原理。在其过程中低相干长度的光，在干涉仪的帮助下被用于测量距离。对测量对象采用点扫描的方式进行测定。利用移动传感头可记录表面轮廓和（或）厚度轮廓。深度分辨率仅受光源相干长度的限制。它也取决于样品的折射率。该设备作为一台可以由一个或多个软件客户端通过简单的TCP / IP协议进行连接的服务器（可以独立操作，拥有内置计算机）运作。通过这种方法测定，其结果可以被同时显示，或可在不同的地点被检查。

OPTEG的OLCI技术摘要：

• 多达12个通道的光学厚度和轮廓测量仪
• 多达6个通道的HP光学低相干干涉仪 （HP OLCI）
• 被测定的材料对于需要使用的波长来说必须是透明的
• 同步测量光盘厚度

我们根据客户的需求为任意的测量装置结构定制个性化的OLCI系统。我们根据要求和用途制造轮轴系统或固定测量设备。我们也很乐意在一个制造过程中整合入测量设备。

根据不同的应用，将使用不同波长的光源。默认情况下，将安装两个波长范围约为1250至1350纳米的超辐射发光二极管（SLD）和一台约1550 纳米的分布式反馈激光器（DFB Laser）。

OLCI相对于其他方法的特点在于：即便在白光干涉和共聚焦显微镜下也能达到非常高的精度和分辨率（Z轴分辨率在0.1纳米范围内）。但是这些系统不能“看至深处”，因此不能测量厚度和膜层。此外它们还有大长径比（长宽比，宽度与高度）的问题。一台由OPTEG研发的HP OLCI设备比传统的OCT方法更加准确。我们的OLCI的Z轴的分辨率的精度在低两位数纳米范围内（10-20纳米）。