离子束加工设备的选项和扩展

真空系统

OMF系列的离子束设备都标配有一个前室（负载锁定）。这使得在加工期间可以快速更换样品，因为主室的真空状态无需被中断。所有设备都至少装备一台前级泵并分别为负载锁定室和主室配备一台涡轮分子泵。这是离子束加工设备正常运行的最低配置要求。为了提高泵功率，我们建议作为重要的选项为整个系统配备两台前级泵并为主室使用两台涡轮分子泵。投入使用多台功率强大的泵机后，由于可以达到更低的压力（更好真空），不仅能缩短泵出时间，同时也将提高整体的真空质量。

为了最佳的真空质量，我们建议除此之外在真空系统中再配置一台迈斯纳（Meissner）冷阱。在腔室中存在的水蒸气或水蒸气分压有可能会延长泵机为建立真空所必须的时间。另外，其他的污染物或不应出现的侵入物进入真空室也会延长泵送时间。利用将存在的水冻结在寒冷的表面的方法（迈斯纳冷阱），也可在泵出时有效地为涡轮泵提供帮助。

 

这里是产品特征概述，您可以用它来补充设备选项：

商品	描述
升级选项1：前置真空系统	前置真空系统由一台带型号为COBRA DP250A，抽速为220m³/h的增压泵的普旭（BUSCH）干泵系统组成。
升级选项2：前置真空系统	前置真空系统由两台带型号为COBRA DP250A，抽速为220m³/h的增压泵的普旭（BUSCH）干式泵组成，分别用于负载锁和处理室。
附加第二台涡轮分子泵	增加第二台泵功率为1900 l/s的普发（Pfeiffer）真空涡轮分子泵，为了获得两倍更好的真空。
迈斯纳（Meissner）冷阱和低温致冷器	增加一个表面>0.5m²的迈斯纳冷阱，以便为高端制样在主处理室中更快地实现更好的真空质量。
涡轮分子泵的闸阀	提高总的真空纯度，并保护涡轮分子泵在设备通风时免受污染。带有两台涡轮分子泵和两个闸阀，使得在更换其中一个闸阀时，真空质量可以不受影响。

所有选项都可以在额外收费后被安装

 

可能的技术扩展

通过换孔器缩短加工时间

为了进一步优化流程并缩短加工时间，OPTEG工程师开发出一套在真空室内为离子源更换孔口的系统。用它可以譬如将8毫米孔口更换到4毫米孔口，而无需中断和重建腔室中的真空。

 

实时蚀刻速率测量系统

借助由我们专家小组开发的实时刻蚀速率设备可以确定蚀刻速率，而无需如上文所述那样需要额外处理另外一个同样材质的样品。为测量蚀刻速率无需加载、加工、提取和测量虚设样品。借助这套创新的额外模块，一切过程都可在真空室中发生，类似法拉第扫描。这将显著地减少准备时间。基于低相干技术的系统可在几秒钟内确定一个离子源的蚀刻速率，其精度为+/-0.1纳米/秒。

 

附加功能

商品	说明
第七轴	最多五种不同离子束直径的自动原位换孔器。所有直径在0.5和20毫米之间。
换孔器	最多五种不同离子束直径的自动原位换孔器。所有直径在0.5和20毫米之间。
实时蚀刻速率测量系统	基于低相干技术的测量系统，以确定离子源的蚀刻速率。可在几秒钟时间内得出精度为+ / - 0.1纳米/秒的蚀刻速率，包括一个针对不同种类的材料的用户可更换的样品头。一个样品头可完成许多不同的蚀刻速率的测定的测量。
位置相机	无痕或位置蚀刻测试对于确定新样本形状和尺寸的位置和方向是必要的。
喷溅涂覆和平滑选项	平滑技术套件包括一个带一个靶材（例如：硅）的附加溅射模块，以覆盖和刻蚀不同材料的样品。
UPS（不间断电源）系统	不间断电源系统（UPS）可在主电源故障的情况下为离子束加工机继续供电。PLC（远程可编程控制器）连接将指令发送到GUI（图形用户界面），并可在故障情况下关闭加工进程和安全关机。

 

处理与自动化

所有OPTEG离子束形状校正系统均可以用机器人系统来补充处理小尺寸和大尺寸工件。这使得全自动、高效率的工作流程成为可能。

物品	描述
人工操作和加载系统	人工操作系统支持加载和卸载样品到负载锁定室
机器人和工件储料包 4	为实现几种不同工件的全自动工作流，工序由机器人和工件储料器扩展。样本自动加载和卸载。允许在没有人为干预的的情况下几个样本的依次处理。可根据样本重量提供不同尺寸的机器人系统

⁴OMF 450需要较大的负载锁定室来使用机器人

 

这里可以下载完整的OMF产品概览，包括可选的扩展。