生产过程自动化,不仅仅只通过可编程逻辑控制器(PLC)
- PLC编程和设备操控的开始运行
- 使用符合工业自动化IEC61131-3标准的CoDeSys来开发应用和建立可视化
- 连接应用程序到Windows的图形用户界面
控制配有独立锁紧闸的真空设备
- 用于各个真空室泵送的人性化自动模式
- 与压力相关的控制以及初级泵和涡轮泵的锁紧装置
- 传输阀控制和相关的安全锁紧装置
- 联合多种第三方设备
联合数控(CNC)操纵
- 轴释放和其他的轴控制,如线性轴归位移动和换向
- 使用特殊手动模式和设置模式进行运行模式控制
- 联合一个运输系统
离子束源控制
- 离子束源运行模式自动化
- 联合所需要的RF发生器、高压电源和介质供应器
设备控制
- 域级别可视化
- 报警管理和报错输出
- 用于开/关检查的可视化运行
连接应用程序到Windows的图形用户界面
- 用于理论值和实际值传输的接口编程
- 域级别组织蚀刻过程